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光刻胶是由感光树脂、光引发剂、溶剂三种主要成分和其他助剂组成的对光敏感的混合液体,是通过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X 射线等光照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀刻材料。